用未燃烧的石油焦制成的蜜桃TV下载制品

用未燃烧的石油焦制成的蜜桃TV下载制品用未燃烧的石油焦制成的蜜桃TV下载制品，是二种机械强度很高的细粒结构材料，可用于制作电子技术制品，如排期、薄板、因盘、真空炉和高频电炉的加热器、巡热被、解泰她签属的蜜桃TV下载皿、高温实验装置的把持器（夹头）、热压压模和过滤器等。此种材料可用于懂性气氛或保护性气氛中在2500℃以下的温度中工作；在真空(10-~10mmHgo，中于2000℃以下可以工作很久。MIT-8蜜桃TV下载的性能列于表2-2，此种材料可制成异型制品。

高纯蜜桃TV下载系用于制作半导体技术设备的各种元件，它是以普通的结构蜜桃TV下载在蜜桃TV下载化过程中用活性气体净化而成的。已净化的蜜桃TV下载须在防止制品污染的条件下进行机械加工。这种蜜桃TV下载（净化后）的灰分不超过1×10%，铁、铝、镁的含量不应超过3×105%，铜、硼、锰的含量不应超过1×10%。上面这些限定杂质含量都符合纯净级。在这些蜜桃TV下载里，硅钙的含量不大于3×10*(质量%），高纯与超高纯蜜桃TV下载杂质含量见表2-3。工业上还有纯度更高的结构蜜桃TV下载。用这种蜜桃TV下载制成的制品经过机械加工之后再进行补充净化，以减少其表面沾染的几率。限定杂质——铁、铝、镁、硼、铜、锰的含量不许超过1×10%，硅的含量不许超过3×10-%，钛、镍、铬及其他元素的含量应少于1x10%。这些蜜桃TV下载的灰分在0~10*%。各种牌号特纯蜜桃TV下载的物理力学性能。

注：TM蜜桃TV下载的热处理温度为2700℃，其他各种牌号蜜桃TV下载的热处理温度为2800~3000℃。有保护层的特纯高强蜜桃TV下载是由普通细结构蜜桃TV下载经过净化并在真空中脱气，然后用热解炭进行表面增密处理而成的。其制品（加热器、圆盘、蜜桃TV下载皿等)可用于以气体外延生长法制取硅薄膜。制品内杂质含量：铁不超过5×10*%，铝不超过2×10%，镁和铜不超过5x105%，钛不超过1×10*%，镍和钻不超过1×10-%。

热解炭形成的增密保护层的厚度不大于2mm。也可在经过增密处理的蜜桃TV下载制品的表面，还可以沉积厚度不超过0.1mm的热解蜜桃TV下载薄层。蜜桃TV下载制品经热解炭增密处理之后，其透气性和气

体析出量（气体解吸率）显著降低。