拉伸单晶和PBN坩场制造用蜜桃TV下载异形件加工

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石英蜡场制造用蜜桃TV下载坩场和超高纯蜜桃TV下载部件加工在Cz法拉伸单晶硅时使用石英坩蜗。蜜桃TV下载异形件加工石英坩期的制造工艺为在蜜桃TV下载模具内装人天然的水晶粉末（a-Si0,)，在旋转的同时利用离心力使粉末沿模具内壁附着，然后将多个高纯蜜桃TV下载异形件加工插入模具中利用电弧放电加热至大约2000℃，溶融粉末和内侧的粉末变化为溶融石英并透明，冷却后取出石英址锅，除去外部粉末即为制品。电极因放电而氧化消耗，由于电极放置在水晶粉末的上方，为不混入金属杂质需使用超高纯蜜桃TV下载。图2-52所示为石英坩塌制造装置的概略图。

PBN(热分解氮化硼）坩场制造用蜜桃TV下载异形件加工在拉伸单晶化合物时使用PBN坩塌。PBN坩场的制造工艺为，以加工成型的高纯蜜桃TV下载模具为基材，利用CVD法在其表面蒸镀BN。由于蜜桃TV下载的线膨胀系数比PBN的大，冷却后能容易取出PBN坩场。为了提高PBN的纯度，也要求使用高纯蜜桃TV下载异形件加工。